ALD/CVD前驱体

Ag

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
三乙基磷(七氟-2,2-二甲基-3,5-辛二酮)银	Triethylphosphine(6,6,7,7,8,8,8-heptafluoro-2,2-dimethyl-3,5-octanedionate)silver	Ag(fod)(PEt3)	165461-74-5	99.999
（四甲基庚二酮）银	(2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-heptanedionato)silver	Ag(thd)	79827-25-1	99.99

Al

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
三乙基铝	Triethyl Aluminum	TEA	97-93-8	99.9999
三甲基铝	Trimethyl Aluminum	TMA	75-24-1	99.9999

As

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
叔丁基砷	Tert-Butylarsine	TBAs	4262-43-5	99.999

B

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
硼酸三异丙酯	Triisopropyl borate	TIPB	5419-55-6	99.9999
硼酸三乙酯	Triethyl borate	TEB(O)	150-46-9	99.9999
硼酸三甲酯	Trimethyl borate	TMB(O)	121-43-7	99.9999

Be

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
二乙基铍	Diethylberyleium	DEB	542-63-2	99.9999

Bi

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
三（四甲基庚二酮）铋	Bismuth III Tetramethylheptanedionate	Bi(thd)3	142617-53-6	99.99
三甲基铋	Trimethylbismuth	TMBi	593-91-9	99.9999

C

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
1-己烯	1-Hexene		592-41-6	99.9999
1，2-二氯乙烯（反式）	Trans-1,2-Dichloroethylene		156-60-5	99.9999
二（三氯甲硅基）碳烷	Methylenebis(trichlorosilane)		4142-85-2	99.999

Ce

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
四（四甲基庚二酮）铈	Tetrakis(tetramethylheptanedionato)cerium	Ce(thd)4	18960-54-8	99.999

Co

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
二羰基环戊二烯钴	DICARBONYLCYCLOPENTADIENYLCOBALT	CpCo(CO)2	12078-25-0	99.9999
(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴	(3,3-Dimethyl-1-butyne)dicobalt hexacarbonyl	CCTBA	56792-69-9	99.9999
二（N,N’-二异丙基乙脒基）钴	Bis(N,N'-di-i-propylacetamidinato)cobalt(II)	Co(iPr-MeAMD)2	635680-58-9	99.99
二茂钴	Bis(cyclopentadienyl)cobalt (II)	CoCp2	1277-43-6	99.999

Cu

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
双(N,N'-二异丙基乙脒基)铜(I)	Bis(N,N'-Diisopropylacetamidinato)copper(I)	Cu(i-PrAMD)2	635680-64-7	99.999
双(六氟乙酰丙酮)铜	Copper hexafluoroacetylacetonate	Cu(hfac)2	14781-45-4	99.999

Er

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
三（四甲基庚二酮）铒	ErbiuM (III) tris(2,2,6,6-tetraMethyl-3,5-heptanedionate)	Er(thd)3	34750-80-6	99.999

Fe

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
叔丁醇铁	Iron t-butoxide	3TBOFe	620945-29-1	99.99
二茂铁	Ferrocene	FeCp2	102-54-5	99.999

Ga

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
三异丙氧基镓	GALLIUM (III) ISOPROPOXIDE	TPGa	4452-61-3	99.999
三（二甲氨基）镓	Tris(dimethylamido)gallium(III)	TDMAG	57731-40-5	99.99
三乙基镓	Triethylgallium	TEG	1115-99-7	99.9999
三甲基镓	Trimethylgallium	TMG	1445-79-0	99.9999

Gd

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
三(二(三甲硅)胺)钆	Bis(trimethylsilyl)azanide,gadolinium(3+)	Gd(TMSA)3	35789-03-8	99.999

Ge

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
甲氧基锗	Germanium(Ⅳ) methoxide		992-91-6	99.99
四（二甲胺）锗	N-methyl-N-[tris(dimethylamino)germyl]methanamine	TDMAGe	7344-40-3	99.9999

Hf

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
(环戊二烯基)三(二甲氨基)铪	Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Hafnium	CpTDMAH	941596-80-1	99.9999
四（甲乙氨基）铪	Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium	TEMAH	352535-01-4	99.9999
四（二甲氨基）铪	Tetrakis(diethylamion)hafnium	TDMAH	19782-68-4	99.9999

In

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
[3-(二甲氨基)丙基]二甲基铟	DimethylAminopropyl-Dimethyl Indium	DADI	120441-92-1	99.9999
三甲基铟	Trimethylindium	TMI	3385-78-2	99.9999
环戊二烯基铟	Cyclopentadienylindium(Ⅰ)	InCp	34822-89-4	99.9999

Ir

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
三（乙酰丙酮）铱	Iridium(III)2,4-pentanedionate	Ir(acac)3	15635-87-7	99.99

La

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
三（N,N’-二异丙基乙脒基）镧	Tris(N,N’-Di-tert-butylacetamidinato)lanthanum(III)	La(iPr-MeAMD)3	635680-72-7	99.99
三(异丙基环戊二烯)镧	Tris(i-propylcyclopentadienyl)lanthanum	La(i-PrCp)3	68959-87-5	99.99
三(二(三甲硅)胺)镧	Lanthanum (III) tris[N,N-bis(trimethylsiyl)amide]	La(TMSA)3	175923-07-6	99.99
三（四甲基庚二酮）镧	Tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)lanthanum(III)	La（thd）3	14319-13-2	99.999

Li

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
叔丁醇锂	Lithium t-butoxide	TBOLi	1907-33-1	99.99
（四甲基庚二酮）锂	2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-heptanedionato lithium	Li(TMHD)	22441-13-0	99.99

Mg

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
双(乙基环戊二烯)镁	Bis(ethylcyclopentadienyl)magnesium	Mg(EtCp)2	114460-02-5	99.9995
双(甲基环戊二烯)镁	Bis(methylcyclopentadienyl)magnesium	Mg(MeCp)2	40672-08-0	99.9995
二茂镁	Bis(cyclopentadienyl)magnesium	MgCp2	1284-72-6	99.9999

Mn

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
二乙基二茂锰	Bis(ethylcyclopentadienyl)manganese	Mn(EtCp)2	101923-26-6	99.999
二茂锰	Bis(cyclopentadienyl)manganese	MnCp2	73138-26-8	99.999

Mo

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钼(VI)	Bis(t-butylimido)bis(dimethylamino)molybdenum(VI)	BTBDMo	923956-62-1	99.9999
六羰基钼	Molybdenum hexacarbonyl	Mo(CO)6	13939-06-5	99.99

N

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
叔丁胺	tert-Butylamine		75-64-9	99.999
乙二胺	Ethylenediamine		107-15-3	99.999
1,1,3,3-四甲基二硅氮烷	Bisdimethylsilylamine	TMDS	15933-59-2	99.9999

Nb

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
五（乙氧基）铌-乙醇铌	Niohium pentaethnxidc	PETONb	3236-82-6	99.999
五（二甲胺基）铌	Pentakis(dimethylamino)Niohium(V)	PDMANb	19824-58-9	99.999

Nd

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
三（四甲基庚二酮）钕	Tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)neodymium(III)	Nd(thd)3	15492-47-4	99.999

Ni

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
二（N,N’-二异丙基乙脒基）镍	Bis(N,N'-diisopropylacetamidinato) Nickel (II)	Ni(iPr-MeAMD)2	635680-62-5	99.99
二茂镍	Bis(cyclopentadienyl)nickel(II)	NiCp2	1271-28-9	99.999

P

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
磷酸三乙酯	Triethyl phosphate	TEPO	78-40-0	99.9999
磷酸三甲酯	Trimethyl phosphate	TMPO	512-56-1	99.9999
叔丁基膦	Tert-Butyiphosphine	TBP	2501-94-2	99.999

Pd

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
二（六氟乙酰丙酮）钯	Palladium(II)hexafluoro-2,4-pentanedionate	Pd(hfac)2	64916-48-9	99.99

Pt

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
（三甲基）甲基环戊二烯铂	(Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum (IV)	Me3Pt(MeCp)	94442-22-5	99.99
二(乙酰丙酮)铂(II)	Platinum bis(acetylacetonate)	Pt(acac)2	15170-57-7	99.999

Ru

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
双(乙基环戊二烯)钌(II)	Bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium	Ru(EtCp)2	32992-96-4	99.999
二茂钌	Bis(cyclopentadienyl)ruthenium	RuCp2	1287-13-4	99.99

Sb

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
三（二甲胺）锑	Tris(dimethylamido)antimony(III)	TDMASb	7289-92-1	99.9999
三乙基锑	Antimony triethy	TESb	617-85-6	99.9999
三甲基锑	Trimethyl antimony	TMSb	594-10-5	99.9999

Sc

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
三(甲基环戊二烯)钪(III)	Ttris(methylcyclopentadienyl)scandium	MeCpSc	155037-27-7	99.99
三(环戊二烯)钪(III)	Tris(cyclopentadienyl)scandium	CpSc	1298-54-0	99.99

Si

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
六氯乙硅烷	Hexachlorodisilane	HCDS	13465-77-5	99.9999
原硅酸乙酯	Tetraethyl Orthosilicate	TEOS	78-10-4	99.9999999
二（异丙氨基）硅烷	Diisopropylaminosilane	DIPAS(LTO-520)	908831-34-5	99.9999
双（二乙胺基）硅烷	Bis(diethylamino)silane	BDEAS(SAM24)	27804-64-4	99.9999
(N,N-二硅烷基-硅烷胺)	N,N-Disilylsilanamine	TSA	13862-16-3	99.999
三（二甲氨基）硅烷	Tris(dimethylamino)silane	3DMAS	15112-89-7	99.9999
双(叔丁基氨基)硅烷	Bis(t-butylamino)silane	BTBAS	186598-40-3	99.9999

Sn

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
四氯化锡	Tin(IV) chloride	SnCl4	7646-78-8	99.9999
四（二甲氨基）锡	Tetrakis(dimethylamine)tin	TDMASn	1066-77-9	99.9999

Ta

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
三(二甲胺基)叔丁酰胺钽	T-Butylimidotris(dimethylamido)tantalum(V)	BTDMAT	69039-11-8	99.9999
三(甲乙胺基)叔丁酰胺钽	(tert-Butylimino)tris(ethylmethylamino)tantalum	BTEMAT	511292-99-2	99.9999
三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽	(TERT-BUTYLIMINO)TRIS(DIETHYLAMINO)TANTALUM	BTDEAT	169896-41-7	99.9999
五(二甲氨基)钽(V)	Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)	PDMATa	19824-59-0	99.999
五（乙氧基）钽 -乙醇钽	Tantalum(V) ethoxide	PETOTa	6074-84-6	99.999

Te

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
二异丙基碲	Diisopropyltellurium	DipTe	51112-72-2	99.99
二乙基碲	Diethvltellurium	DETe	627-54-3	99.9999
二叔丁基碲	Di-t-butyltelluride	DTBT	83817-35-0	99.9999

Ti

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
四氯化钛	Titanium(IV) chloride	TiCl4	7550-45-0	99.9999
四异丙醇钛	Titanium(IV) isopropoxide	TIPT	546-68-9	99.9999
四（甲乙氨基）钛	Tetrakis(ethylmethylamino)titanium(iv)	TEMAT	308103-54-0	99.9999
四（二甲氨基）钛	Tetrakis(dimethylamino)titanium	TDMAT	3275-24-9	99.9999

V

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
四（甲乙氨基）钒	Tetrakis(ethylmethylamino)vanadium	TEMAV	791114-66-4	99.99

W

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
双(叔丁基胺)双(二甲基胺)钨(VI)	Bis(tert-butylimino)bis(dimethylamino)tungsten	BTBMW	406462-43-9	99.9999
六羰基钨	hexacarbonyl tungsten	W(CO)6	14040-11-0	99.9995

Y

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
三（甲基环戊二烯）钇	Tris(methylcyclopentadienyl)yttrium(III)	Y(MeCp)3	329735-72-0	99.995
三（N,N’-二异丙基乙脒基）钇	Tris(N,N’-Di-tert-butylacetamidinato)Yttrium(III)	Y(iPr-MeAMD)3		99.99
三（四甲基庚二酮）钇	Tris(2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-Heptanedionato)Yttrium(III)	Y(thd)3	15632-39-0	99.999

Yb

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
三（四甲基庚二酮）镱	Tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)ytterbium(III)	Yb(thd)3	15492-52-1	99.999

Zn

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
二甲基锌	Dimethylzinc	DMZ	544-97-8	99.9999
二乙基锌	Diethylzinc	DEZ	557-20-0	99.9999

Zr

名称	Name	缩写	CAS No.	纯度
(环戊二烯基)三(二甲氨基)锆	Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium	CpTDMAZ	33271-88-4	99.9999
四（甲乙氨基）锆	Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium	TEMAZ	175923-04-3	99.9999
四（二甲氨基）锆	Tetrakis(dimethylamino)zirconium	TDMAZ	19756-04-8	99.9999